膜付ウェーハ

ウェーハへの膜付加工を行った製品を「膜付ウェーハ」と呼びます。ウェーハの成膜プロセスには、絶縁膜としての層間絶縁材料、導電材料としての金属膜、プロセス材料としてのレジストなど、また保護膜などが含まれます。

下記は当社保有のスパッタリングターゲットです。自由な組み合わせで膜付きウェーハが作成可能です。
3～4インチ膜付きシリコンウェーハ
METALS Au、Al、Ag、B、C、Co、Cr、Cu、Fe、Ge、Hf、In、Ir、Mg、Mn、Mo、Nb、Ni、Pd、Pt、Rh、Ru、Si（N型）（1～50Ω･cm）、Si（P型）（1～50Ω･cm）、Si（N型）（高抵抗）（1000 Ω･cm以上）、Si（N型）（高抵抗）（5000 Ω･cm以上）、Sn、Ta、Ti、V、W、Y、Zn、Zr
SILICIDES CoSi2、MoSi2.5、NiSi2、TaSi2、TiSi2、WSi2、WSi2.5、ZrSi2、CrSi2
NITRIDES AlN、BN、Mo2N、Si3N4、ZrN
CARBIDES SiC、TiC
ALLOYS Al-Cu、Al-Nd、Al-Sc、Al-Si、Al-Si-Cu、Al-Ti、Au-Sn、Cu-Ni、Co-Cr、Fe-Co、Ni-Cr、Ni-Fe、Ni-V、TiW
OXIDES Al2O3、AZO、BaTiO3、CeO2、CuO、Fe2O3、Ga2O3、Gd2O3、HfO2、In2O3、ITO、IZO、LiCoO2、LiMn2O4、LiNbO3、Li3PO4、MgO、Mn2O3、Nb2O5、NiO、PZT、RuO2、SiO、SiO2、SnO、SnO2、SrRuO3、SrTiO3、Ta2O5、TiO2、WO3、Y2O3、ZnO、ZrO2 : Y2O3
3～4インチ膜付きシリコンウェーハ
仕様
サイズ 4インチ 6インチ
直径 100 ± 0.5 mm 150 ± 0.5 mm
導電型 P型
抵抗値 1～100 Ω·cm
厚さ 525 ± 25 μm 625 ± 25 μm
熱酸化膜厚 500 nm ± 10％
数量 25枚から
【特記事項】
  • Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
  • ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
※ 在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。
4～6インチ熱酸化膜10000 Å（両面）付Siウェーハ
仕様
サイズ 4インチ 6インチ
直径 100 ± 0.2 mm 150 ± 0.2 mm
厚さ 525 ± 25 μm 625 ± 25 μm
導電型 P型
面状態 ⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド
抵抗値 1～100 Ω·cm
熱酸化膜厚 10000 Å ± 10％
数量 25枚から
【特記事項】
  • Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
  • ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
※ 在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。
6インチ熱酸化膜20000 Å（両面）付Siウェーハ
仕様
サイズ 4インチ
直径 150 ± 0.2 mm
厚さ 625 ± 25 μm
導電型 P型
面状態 ⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド
抵抗値 1～100 Ω·cm
熱酸化膜厚 20000 Å ± 10％
数量 25枚から
【特記事項】
  • Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
  • ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
※ 在庫品ではありません。納期は受注後10日～14日程かかります。
6インチ熱酸化膜100000 Å（両面）付Siウェーハ
仕様
サイズ 6インチ
直径 150 ± 0.2 mm
厚さ 625 ± 25 μm
導電型 P型
面状態 ⽚⾯ミラー/⽚⾯エッチド
抵抗値 1～100 Ω·cm
熱酸化膜厚 100000 Å ± 10％
数量 25枚から
【特記事項】
  • Siウェーハのグレード、パーティクル等の保証はいたしかねますので予めご了承ください。
  • ベベルに関しては、基本的にフルラウンドのエッジになっていますが保証できません。納⼊品のSiウェーハはSEMI Standard品になります。
※ 在庫品ではありません。納期は受注後8～9週間程かかります。
※ 特注の厚膜品のため、膜の密着性等の保証は不問となります。