半導体装置事業

半導体製造前工程用の搬送ロボット、ウエハ自動剥離装置、ウエハ移載装置、ウエハー洗浄装置などの設計・開発・製造事業に注目しております。
取引企業からほぼ40年間の業界経験を活かせた技術及び特許を持ち、半導体装置事業の細分した領域に高いシェアを占めております。

半導体搬送ロボット、ウエハ移載装置、ウエハ自動剥離装置 、ウエハー洗浄装置、エッチング装置、スピンドライヤーなど半導体製造装置。
従来の問題点を改良し、ご満足頂けるものづくりを目指します。常にお客様の立場に立って、ご提案させていただきます。
東アジアビジネス事情、東アジアへの進出のご相談等、なんでもお気軽にお問い合わせください。

半導体用搬送ロボット

300mm対応 ウエハ移載装置

300mm対応 ウエハ自動剥離装置

300mm対応 ウエハー自動洗浄装置